Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測系統(tǒng)和實時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時運行時也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點

1. 清潔無油, 大抽速

2. 免維護低成本保養(yǎng)費

3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動

4. 可任意角度安裝

 Pfeiffer 分流式渦輪分子泵, 抽速最高 53 l/s 和在中間抽吸裝置上抽速 0.15 l/s (N2), 可取代多款渦輪分子泵, 獨立機械和真空結(jié)構(gòu)設(shè)計, 特別適合分析研發(fā)行業(yè).

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 SplitFlow 優(yōu)點

緊湊設(shè)計, 占地空間小

對所有氣體的高抽吸能力和更高壓縮比

集成分子泵控制器

防護類型 IP 54 適合于工業(yè)用途

準 S2 和 UL/CSA 認證

運行數(shù)據(jù)監(jiān)控保證分子泵運行安全性