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①比Adixen標(biāo)準(zhǔn)系列泵運(yùn)行更安靜 ②低工作溫度減少油蒸汽回流，同時提高極限真空
管理解決方案分子污染（計量和過程） 該中*開發(fā)的真空泄漏檢測和管理解決方案，分子污染的新概念。
壓力安全閥 固有的故障安全保護(hù)系統(tǒng)確保無剩余壓力 動態(tài)自監(jiān)測
拆卸簡便的電磁線圈系統(tǒng) 不含LABS 帶制動裝置的標(biāo)準(zhǔn)手動應(yīng)急控制
自由交叉式切換，即便在供氣面積很小時也能保證切換功能 即便在電源故障時也能提供安全保障 (單穩(wěn)態(tài)設(shè)計) 帶制動裝置的手動應(yīng)急控制
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